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Typ 8700, 8701, 8703, 8705 /

8710, 8711, 8713, 8715

1. DIE BEDIENUNGSANLEITUNG ...............................................................4

1.1. Darstellungsmittel .................................................................................4

1.2. Begriffsdefinition "Gerät" ...................................................................4

2. BESTIMMUNGSGEMÄSSE VERWENDUNG ......................................5

3. GRUNDLEGENDE SICHERHEITSHINWEISE ....................................5

4. ALLGEMEINE HINWEISE .............................................................................7

4.1. Herstelleradresse und internationale Kontaktadressen ...7

4.2. Gewährleistung .......................................................................................7

4.3. Informationen im Internet ..................................................................7

5. SYSTEMBESCHREIBUNG ..........................................................................7

5.1. Allgemeine Beschreibung .................................................................7

5.2. Funktionsweise des Sensors eines MFM oder eines MFC .....8

5.3. Funktionsweise eines MFC im Detail ..........................................8

6. TECHNISCHE DATEN ................................................................................11

6.1. Kennzeichnungen am Gerät ......................................................... 11

6.2. Betriebsbedingungen .......................................................................12

6.3. Einhaltung von Normen und Richtlinien .................................13

6.4. Mechanische Daten ........................................................................... 13

6.5. Abmessungen .......................................................................................13

6.6. Fluidische Daten ..................................................................................18

6.7. Elektrische Daten ................................................................................20

7. INSTALLATION UND INBETRIEBNAHME ........................................22

7.1. Sicherheitshinweise ..........................................................................22

7.2. Vor der Installation .............................................................................22

7.3. Beschreibung der MFM / MFC .................................................... 23

7.4. Reihenfolge der auszuführenden Arbeitsschritte .............23

7.5. Parametereinstellungen ..................................................................23

7.6. Mechanische Installation ................................................................ 27

7.7. Fluidische Installation .......................................................................27

7.8. Elektrische Installation .....................................................................28

8. BEDIENUNG UND FUNKTION .............................................................. 30

8.1. Sicherheitshinweise ..........................................................................30

8.2. Bedienung der MFM / MFC ........................................................... 30

8.3. Betriebsmodi des MFC ....................................................................35

9. WARTUNG, STÖRUNGSBESEITIGUNG ...........................................39

9.1. Sicherheitshinweise ..........................................................................39

9.2. Wartung ....................................................................................................39

9.3. Problemlösung .....................................................................................41

10. ZUBEHÖR / ERSATZTEILE...................................................................44

10.1. Zubehör .................................................................................................44

10.2. Ersatzteile ............................................................................................. 46

11. AUSSERBETRIEBNAHME ..................................................................... 47

11.1. Sicherheitshinweise ........................................................................47

11.2. Demontage der MFM / MFC ....................................................... 47

12. VERPACKUNG, LAGERUNG, TRANSPORT ..................................48

12.1. Verpackung, Transport ...................................................................48

12.2. Lagerung ...............................................................................................48

13. RÜCKSENDUNG ........................................................................................ 48

14. ENTSORGUNG DES GERÄTES ..........................................................49

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